Концевой эффектор из оксида алюминия / вилочный рычаг для обработки пластин и подложек

Краткое описание:

Керамический концевой эффектор из оксида алюминия, обычно называемый керамической вилочной рукой или керамическим захватом, — важнейший инструмент, используемый в робототехнике и на производственных линиях для чистых помещений. Этот компонент устанавливается на роботизированную руку в качестве конечного интерфейса с продуктом, отвечая за захват, удержание, выравнивание и перемещение высокочувствительных деталей, таких как кремниевые пластины, стеклянные панели или микроэлектронные компоненты.

Написать нам письмо

Функции

Подробная схема

ceramic-arm-for-wafer-drive-of-semiconductors-02 - 副本

Обзор концевого эффектора из оксида алюминия

Керамический концевой эффектор из оксида алюминия, обычно называемый керамической вилкой или керамическим захватом, — важнейший инструмент, используемый в робототехнике и на производственных линиях для чистых помещений. Керамический концевой эффектор из оксида алюминия устанавливается на роботизированную руку в качестве конечного интерфейса с продуктом, отвечая за захват, удержание, выравнивание и перемещение высокочувствительных деталей, таких как кремниевые пластины, стеклянные панели или микроэлектронные компоненты.

Изготовленный из сверхчистой алюмооксидной керамики (Al2O3), этот вилочный рычаг обеспечивает исключительно чистое и стабильное решение для сред, в которых недопустимы загрязнения металлом, пластическая деформация или образование частиц.

Свойства материала – почему именно оксид алюминия

О концевом эффекторе из оксида алюминия. Оксид алюминия (Al2O3) является одним из самых известных и надежных материалов.передовая инженерная керамикаИспользуемая нами марка (чистота ≥99,5%) обладает уникальным сочетанием физических и химических свойств, делающих её предпочтительным материалом для полупроводниковых и вакуумных применений:

Экстремальная твердость– Благодаря уровню твердости по шкале Мооса 9 он обеспечивает долговечность и устойчивость к царапинам.
Термическая стойкость– Сохраняет структурную целостность при температурах свыше 1600°C, превосходя металлические и полимерные аналоги.
Электроизоляция– Устраняет накопление статического электричества и обеспечивает полную диэлектрическую защиту.
Химический иммунитет– Не подвержен воздействию кислот, щелочей, плазменных газов и агрессивных чистящих растворов.
Сверхнизкий риск загрязнения– Поверхность с низким коэффициентом трения, не выделяющая газов и минимизирующая выброс частиц в чистых помещениях.

Эти характеристики позволяют концевым эффектам из алюмооксидной керамики безупречно работать в суровых условиях, требующих высокой точности.

Основные области применения концевого эффектора из оксида алюминия

Универсальность вилкообразных захватов из алюмооксидной керамики делает их незаменимыми во многих высокотехнологичных отраслях промышленности:

Системы транспортировки полупроводниковых пластин– Безопасное перемещение кремниевых пластин от процесса к процессу без микроцарапин.
Производство плоских дисплеев– Обработка хрупких стеклянных подложек для изготовления OLED, LCD или microLED.
Фотоэлектрическое производство– Поддержка загрузки и выгрузки солнечных пластин с помощью высокоскоростных роботизированных циклов.
Сборка оптических и электронных компонентов– Захват деликатных деталей, таких как датчики, резисторы и миниатюрные микросхемы.
Автоматизация вакуума и чистых помещений– Выполнение точных задач в сверхчистых условиях с контролем частиц.

В любом случае конечный эффектор из оксида алюминия и керамики обеспечивает важнейшее звено между роботизированной автоматикой и перемещаемым продуктом.

Возможности конструкции и настройки концевого эффектора из оксида алюминия и керамики

Каждая производственная линия предъявляет уникальные требования. Поэтому мы предлагаем индивидуальные решения для концевых эффекторов из оксида алюминия, подходящие для различных размеров пластин, роботизированных систем и методов обработки:

Совместимость с пластинами: поддерживает пластины размером от 2 до 12 дюймов и может масштабироваться для изготовления деталей нестандартного размера.

Варианты геометрии: одинарная вилка, двойная вилка, многослотовая или пользовательские формы со встроенными углублениями.

Вакуумная обработка: дополнительные каналы вакуумного отсоса для бесконтактной поддержки пластин.

Монтажные интерфейсы: специальные болтовые отверстия, фланцы или прорезные конструкции для установки на любую роботизированную руку.

Отделка поверхности: Полированные или суперобработанные поверхности (до Ra < 0,15 мкм).

Профили кромок: скошенные или закругленные кромки для максимальной защиты пластины.

Наша инженерная группа по концевым эффекторам из алюмооксидной керамики может работать с чертежами САПР или образцами деталей клиентов, обеспечивая полную интеграцию в существующие системы автоматизации.

Основные преимущества концевых эффекторов из оксида алюминия и керамики

Особенность	Почему это важно
Точность размеров	Сохраняет идеальное выравнивание даже при высокоскоростных повторяющихся циклах.
Не загрязняющий	Практически не образует частиц, что соответствует строгим требованиям к чистым помещениям.
Стойкость к жаре и коррозии	Выдерживает агрессивные процессы обработки и термические удары.
Нет статического заряда	Защищает чувствительные пластины и компоненты от электростатического риска.
Легкий, но жесткий	Обеспечивает высокую жесткость без ущерба для нагрузки на руку робота.
Увеличенный срок службы	Превосходит металлические и полимерные рычаги по сроку службы и надежности.

Сравнение материалов концевого эффектора из оксида алюминия

Атрибут	Пластиковая вилка	Алюминиевый/металлический рычаг вилки	Вилка из оксида алюминия и керамики
Твердость	Низкий	Середина	Очень высокий
Тепловой диапазон	≤ 150°С	≤ 500°С	До 1600°С
Химическая стабильность	Бедный	Умеренный	Отличный
Рейтинг чистоты помещения	Низкий	Средний	Идеально подходит для класса 100 или выше
Износостойкость	Ограниченный	Хороший	Выдающийся
Уровень настройки	Умеренный	Ограниченный	Обширный

Часто задаваемые вопросы (FAQ) о концевом эффекторе из оксида алюминия

В1: Чем отличается концевой эффектор из оксида алюминия и керамики от металлического?
А1:В отличие от алюминиевых или стальных ручек, алюмооксидная керамика не подвержена коррозии, не деформируется и не вносит ионы металлов в полупроводниковые процессы. Она сохраняет размерную стабильность в экстремальных условиях и практически не выделяет частицы.

В2: Можно ли использовать эти концевые эффекторы из оксида алюминия в высоковакуумных и плазменных камерах?
А2:Да. Керамика из оксида алюминиянегазовыделениеи устойчив к плазме, что делает его предпочтительным материалом для оборудования вакуумной обработки и травления.

В3: Насколько настраиваемыми являются вилочные рычаги концевого эффектора из оксида алюминия и керамики?
А3:Каждая единица может бытьполностью настроенный—включая форму, пазы, отверстия для всасывания, способ крепления и отделку кромок — в соответствии с требованиями вашей роботизированной системы.

В4: Они хрупкие?
А4:Несмотря на природную хрупкость керамики, наши разработки обеспечивают равномерное распределение нагрузки и минимизируют возникновение точек напряжения. При правильном обращении срок службы часто превышает срок службы металлических или полимерных аналогов.

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, потребительской электронике и оборонном секторе. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, крышки для объективов мобильных телефонов, керамические, литий-ионные кристаллы (LT), карбид кремния SIC, кварцевые и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря опыту и передовому оборудованию мы превосходим всех в обработке нестандартных изделий, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.