6-дюймовая пластина SiC Epitaxiy типа N/P принимает индивидуальные заказы

Процесс изготовления эпитаксиальных пластин карбида кремния осуществляется методом химического осаждения из газовой фазы (CVD). Ниже приведены соответствующие технические принципы и этапы процесса изготовления:

Технический принцип:

Химическое осаждение из паровой фазы: при использовании исходного газа в газовой фазе в определенных условиях реакции он разлагается и осаждается на подложке, образуя желаемую тонкую пленку.

Газофазная реакция: посредством реакции пиролиза или крекинга различные сырьевые газы в газовой фазе подвергаются химическим изменениям в реакционной камере.

Этапы процесса подготовки:

Обработка подложки: Подложка подвергается очистке поверхности и предварительной обработке для обеспечения качества и кристалличности эпитаксиальной пластины.

Отладка реакционной камеры: регулировка температуры, давления и расхода реакционной камеры, а также других параметров для обеспечения стабильности и контроля условий реакции.

Подача сырья: подача необходимого газового сырья в реакционную камеру, перемешивание и регулирование расхода по мере необходимости.

Процесс реакции: При нагревании реакционной камеры газообразное сырье вступает в химическую реакцию, в результате которой образуется желаемый осадок — пленка карбида кремния.

Охлаждение и выгрузка: По окончании реакции температура постепенно понижается для охлаждения и затвердевания отложений в реакционной камере.

Отжиг эпитаксиальной пластины и постобработка: осажденная эпитаксиальная пластина отжигается и подвергается постобработке для улучшения ее электрических и оптических свойств.

Конкретные этапы и условия процесса подготовки эпитаксиальных пластин карбида кремния могут различаться в зависимости от используемого оборудования и требований. Вышеизложенное представляет собой лишь общую схему и принцип процесса, конкретные операции необходимо корректировать и оптимизировать в соответствии с реальной ситуацией.