150 мм 6 дюймов 0,7 мм 0,5 мм сапфировая пластина-носитель подложки C-Plane SSP/DSP
Приложения
Области применения 6-дюймовых сапфировых пластин включают:
1. Производство светодиодов: сапфировая пластина может использоваться в качестве подложки светодиодных чипов, а ее твердость и теплопроводность могут улучшить стабильность и срок службы светодиодных чипов.
2. Производство лазеров: сапфировая пластина также может использоваться в качестве подложки лазера, что позволяет улучшить его производительность и продлить срок службы.
3. Производство полупроводников: Пластины сапфира широко используются в производстве электронных и оптоэлектронных приборов, включая оптический синтез, солнечные элементы, высокочастотные электронные приборы и т. д.
4. Другие области применения: Сапфировые пластины также могут использоваться для производства сенсорных экранов, оптических устройств, тонкопленочных солнечных элементов и других высокотехнологичных продуктов.
Спецификация
Материал | Высокочистый монокристалл Al2O3, сапфировая пластина. |
Измерение | 150 мм +/- 0,05 мм, 6 дюймов |
Толщина | 1300 +/- 25 мкм |
Ориентация | Плоскость С (0001) от плоскости М (1-100) 0,2 +/- 0,05 градуса |
Первичная плоская ориентация | Плоскость +/- 1 градус |
Длина первичной плоскости | 47,5 мм +/- 1 мм |
Общее изменение толщины (TTV) | <20 мкм |
Поклон | <25 мкм |
Варп | <25 мкм |
Коэффициент теплового расширения | 6,66 x 10-6 / °C параллельно оси C, 5 x 10-6 / °C перпендикулярно оси C |
Электрическая прочность диэлектрика | 4,8 х 105 В/см |
Диэлектрическая проницаемость | 11,5 (1 МГц) вдоль оси С, 9,3 (1 МГц) перпендикулярно оси С |
Тангенс угла диэлектрических потерь (также известный как коэффициент рассеяния) | менее 1 x 10-4 |
Теплопроводность | 40 Вт/(мК) при 20℃ |
Полировка | Односторонняя полировка (SSP) или двухсторонняя полировка (DSP) с шероховатостью Ra < 0,5 нм (по данным АСМ). Обратная сторона пластины SSP была тонко отшлифована до шероховатости Ra = 0,8–1,2 мкм. |
Коэффициент пропускания | 88% +/-1 % при 460 нм |
Подробная схема

