150 мм 6 дюймов 0,7 мм 0,5 мм сапфировая пластина подложка носитель C-Plane SSP/DSP
Приложения
Области применения 6-дюймовых сапфировых пластин включают:
1. Производство светодиодов: сапфировая пластина может использоваться в качестве подложки светодиодных чипов, а ее твердость и теплопроводность могут улучшить стабильность и срок службы светодиодных чипов.
2. Производство лазеров: сапфировая пластина также может использоваться в качестве подложки лазера, что позволяет улучшить его производительность и продлить срок службы.
3. Производство полупроводников: сапфировые пластины широко используются в производстве электронных и оптоэлектронных приборов, включая оптический синтез, солнечные элементы, высокочастотные электронные приборы и т. д.
4. Другие области применения: Сапфировые пластины также могут использоваться для производства сенсорных экранов, оптических устройств, тонкопленочных солнечных элементов и других высокотехнологичных изделий.
Спецификация
| Материал | Высокочистый монокристалл Al2O3, сапфировая пластина. |
| Измерение | 150 мм +/- 0,05 мм, 6 дюймов |
| Толщина | 1300 +/- 25 мкм |
| Ориентация | Плоскость C (0001) от плоскости M (1-100) 0,2 +/- 0,05 градуса |
| Первичная плоская ориентация | Плоскость +/- 1 градус |
| Длина первичной плоскости | 47,5 мм +/- 1 мм |
| Общее изменение толщины (TTV) | <20 мкм |
| Поклон | <25 мкм |
| Варп | <25 мкм |
| Коэффициент теплового расширения | 6,66 x 10-6 / °C параллельно оси C, 5 x 10-6 / °C перпендикулярно оси C |
| Диэлектрическая прочность | 4,8 х 105 В/см |
| Диэлектрическая постоянная | 11,5 (1 МГц) вдоль оси С, 9,3 (1 МГц) перпендикулярно оси С |
| Тангенс угла диэлектрических потерь (он же коэффициент рассеяния) | менее 1 х 10-4 |
| Теплопроводность | 40 Вт/(мК) при 20℃ |
| Полировка | односторонняя полировка (SSP) или двухсторонняя полировка (DSP) Ra < 0,5 нм (по данным АСМ). Обратная сторона пластины SSP была тонко отшлифована до Ra = 0,8 - 1,2 мкм. |
| Пропускание | 88% +/-1 % при 460 нм |
Подробная схема
