150 мм 6 дюймов 0,7 мм 0,5 мм Несущая подложка сапфировой пластины C-плоскость SSP/DSP
Приложения
Сферы применения 6-дюймовых сапфировых пластин включают:
1. Производство светодиодов: сапфировая пластина может использоваться в качестве подложки светодиодных чипов, а ее твердость и теплопроводность могут улучшить стабильность и срок службы светодиодных чипов.
2. Лазерное производство: сапфировую пластину также можно использовать в качестве подложки лазера, чтобы улучшить производительность лазера и продлить срок службы.
3. Производство полупроводников. Сапфировые пластины широко используются в производстве электронных и оптоэлектронных устройств, включая оптический синтез, солнечные элементы, высокочастотные электронные устройства и т. д.
4. Другие области применения: Сапфировую пластину также можно использовать для производства сенсорных экранов, оптических устройств, тонкопленочных солнечных элементов и других высокотехнологичных продуктов.
Спецификация
Материал | Монокристалл Al2O3 высокой чистоты, сапфировая пластина. |
Измерение | 150 мм +/- 0,05 мм, 6 дюймов |
Толщина | 1300 +/- 25 мкм |
Ориентация | Плоскость C (0001) от плоскости M (1-100) 0,2 +/- 0,05 градуса |
Первичная плоская ориентация | Плоскость +/- 1 градус |
Первичная плоская длина | 47,5 мм +/- 1 мм |
Суммарное изменение толщины (TTV) | <20 мкм |
Поклон | <25 мкм |
Деформация | <25 мкм |
Коэффициент теплового расширения | 6,66 x 10-6/°C параллельно оси C, 5 x 10-6/°C перпендикулярно оси C |
Диэлектрическая прочность | 4,8 х 105 В/см |
Диэлектрическая проницаемость | 11,5 (1 МГц) вдоль оси C, 9,3 (1 МГц) перпендикулярно оси C |
Тангенс диэлектрических потерь (он же коэффициент диэлектрических потерь) | менее 1 х 10-4 |
Теплопроводность | 40 Вт/(мК) при 20℃ |
Полировка | односторонняя полировка (SSP) или двухсторонняя полировка (DSP) Ra < 0,5 нм (по данным АСМ). Обратная сторона пластины SSP была отшлифована до Ra = 0,8-1,2 мкм. |
пропускание | 88% +/-1% при 460 нм |