4-дюймовая 6-дюймовая пластина монокристаллической пленки ниобата лития LNOI
Процесс подготовки материалов LNOI в основном делится на следующие четыре этапа:
(1) Ионы He были инжектированы в материал ниобата лития X-среза с определенной энергией и внедрены в дефектный слой на определенную глубину под поверхностным слоем ниобата лития;
(2) Материал ниобата лития, имплантированный ионами, связывается с кремниевой подложкой со слоем оксида для формирования связующей структуры;
(3) Связующая структура была отожжена для развития дефектов, внесённых имплантацией ионов гелия, и их объединения с образованием трещин. Наконец, ниобат лития был разделён вдоль дефектного слоя для формирования остаточных пластин ниобата лития и пластин LNOI.
Применение и преимущества пластин LNOI
1. Пьезоэлектрические пленки ниобата лития (LNOI) обладают высокими пьезоэлектрическим коэффициентом и диэлектрической проницаемостью, что позволяет преобразовывать механическую энергию в электрическую или электрическую в механическую. Поэтому они широко используются в датчиках, таких как датчики давления, ускорения, температуры и т.д. Кроме того, пьезоэлектрические пленки ниобата лития могут использоваться в акустических и вибрационных устройствах, таких как пьезокерамические преобразователи и сложные пьезокерамические фильтры.
2. Стабильность пьезоэлектрической плёнки из ниобата лития также является одним из её преимуществ. Благодаря стабильности кристаллической структуры и химической инертности, пьезоэлектрическая плёнка из ниобата лития может работать в условиях высоких температур, высокой влажности, сильных кислот и щелочей, а также в других агрессивных средах, обладая хорошей коррозионной стойкостью и долговечностью.
Пьезоэлектрическая пленка на основе ниобата лития – это новый пьезоэлектрический материал с превосходными характеристиками и стабильностью, имеющий широкие перспективы применения. Благодаря непрерывному развитию науки и технологий, пьезоэлектрическая пленка на основе ниобата лития будет применяться во всё большем количестве городов, привнося больше удобства и инноваций в жизнь людей.
Подробная схема


