4-дюймовая 6-дюймовая монокристаллическая пленка из ниобата лития LNOI
Процесс подготовки материалов LNOI в основном делится на следующие четыре этапа.
(1) Ионы He инжектировались в материал ниобата лития X-среза при определенной энергии и вводились в дефектный слой на определенной глубине ниже поверхностного слоя ниобата лития;
(2) Ионно-имплантированный материал ниобата лития связан с кремниевой подложкой с оксидным слоем для образования связующей структуры;
(3) Связующая структура была подвергнута отжигу, чтобы дефекты, возникшие в результате имплантации ионов He, развивались и агрегировались с образованием трещин. Наконец, ниобат лития отделялся вдоль дефектного слоя с образованием остаточных срезов ниобата лития и пластин LNOI.
Применение и преимущества пластины LNOI
1-Пьезоэлектрические пленки ниобата лития (LNOI) имеют высокий пьезоэлектрический коэффициент и диэлектрическую проницаемость, которые могут преобразовывать механическую энергию в электрическую энергию или электрическую энергию в механическую энергию. Поэтому он широко используется в области датчиков, таких как датчики давления, датчики ускорения, датчики температуры и так далее. Кроме того, пьезоэлектрическая пленка ниобата лития также может использоваться в акустических устройствах и вибрационных устройствах, таких как пьезоэлектрический керамический преобразователь, сложный пьезоэлектрический керамический фильтр.
2-Стабильность пьезоэлектрической пленки ниобата лития также является одним из ее преимуществ. Благодаря стабильности кристаллической структуры и химической инертности пьезоэлектрическая пленка из ниобата лития может работать при высоких температурах, высокой влажности, сильной кислоте, сильной щелочи и других агрессивных средах, обладая хорошей коррозионной стойкостью и долговечностью.
Пьезоэлектрическая пленка из ниобата лития 3 — это новый пьезоэлектрический материал с превосходными характеристиками и стабильностью, имеющий широкую перспективу применения. Благодаря постоянному развитию науки и техники пьезоэлектрическая пленка из ниобата лития будет применяться во многих городах, что принесет больше удобства и инноваций в жизнь людей.