4-дюймовая 6-дюймовая пластина из монокристалла ниобата лития LNOI
Процесс подготовки материалов LNOI в основном делится на следующие четыре этапа:
(1) Ионы He инжектировались в материал ниобата лития X-среза с определенной энергией и внедрялись в дефектный слой на определенной глубине под поверхностным слоем ниобата лития;
(2) Материал ниобата лития, имплантированный ионами, связывается с кремниевой подложкой с помощью оксидного слоя для формирования связующей структуры;
(3) Связующая структура была отожжена, чтобы дефекты, введенные имплантацией ионов He, эволюционировали и объединились, образуя трещины. Наконец, ниобат лития был разделен вдоль дефектного слоя, чтобы сформировать остаточные ломтики ниобата лития и пластины LNOI.
Применение и преимущества пластин LNOI
1--Пьезоэлектрические пленки ниобата лития (LNOI) имеют высокий пьезоэлектрический коэффициент и диэлектрическую постоянную, которые могут преобразовывать механическую энергию в электрическую или электрическую энергию в механическую энергию. Поэтому они широко используются в области датчиков, таких как датчики давления, датчики ускорения, датчики температуры и т. д. Кроме того, пьезоэлектрические пленки ниобата лития также могут использоваться в акустических устройствах и вибрационных устройствах, таких как пьезоэлектрический керамический преобразователь, сложный пьезоэлектрический керамический фильтр.
2-Стабильность пьезоэлектрической пленки ниобата лития также является одним из ее преимуществ. Благодаря стабильности кристаллической структуры и химической инертности пьезоэлектрическая пленка ниобата лития может работать в условиях высокой температуры, высокой влажности, сильной кислоты, сильной щелочи и других суровых условиях, обладая хорошей коррозионной стойкостью и долговечностью.
3-Пьезоэлектрическая пленка из ниобата лития - это новый пьезоэлектрический материал с превосходными характеристиками и стабильностью, имеющий широкие перспективы применения. С непрерывным развитием науки и техники пьезоэлектрическая пленка из ниобата лития будет применяться в большем количестве городов, принося больше удобства и инноваций в жизнь людей.
Подробная схема


