4-дюймовая сапфировая пластина C-плоскости SSP/DSP 0,43 мм 0,65 мм
Приложения
● Субстрат для выращивания соединений III-V и II-VI.
● Электроника и оптоэлектроника.
● ИК-приложения.
● Интегральная схема кремния на сапфире (SOS).
● Радиочастотная интегральная схема (RFIC).
В производстве светодиодов сапфировые пластины используются в качестве подложки для выращивания кристаллов нитрида галлия (GaN), которые излучают свет при подаче электрического тока. Сапфир является идеальным материалом подложки для выращивания GaN, поскольку он имеет кристаллическую структуру и коэффициент теплового расширения, аналогичные GaN, что сводит к минимуму дефекты и улучшает качество кристаллов.
В оптике сапфировые пластины используются в качестве окон и линз в средах высокого давления и высоких температур, а также в системах инфракрасного изображения из-за их высокой прозрачности и твердости.
Спецификация
Элемент | 4-дюймовая C-плоскость (0001), сапфировые пластины толщиной 650 мкм | |
Кристаллические материалы | 99,999%, высокая чистота, монокристаллический Al2O3 | |
Оценка | Prime, Epi-Ready | |
Ориентация поверхности | C-плоскость(0001) | |
Угол отклонения плоскости C по отношению к оси M 0,2 +/- 0,1° | ||
Диаметр | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
Толщина | 650 мкм +/- 25 мкм | |
Первичная плоская ориентация | Плоскость А(11-20) +/- 0,2° | |
Основная плоская длина | 30,0 мм +/- 1,0 мм | |
Односторонняя полировка | Передняя поверхность | Эпиполировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
(ССП) | Задняя поверхность | Тонкое шлифование, Ra = от 0,8 мкм до 1,2 мкм. |
Двойная полированная сторона | Передняя поверхность | Эпиполировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
(ЦСП) | Задняя поверхность | Эпиполировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
ТТВ | < 20 мкм | |
ПОКЛОН | < 20 мкм | |
ДЕФОРМАЦИЯ | < 20 мкм | |
Очистка/Упаковка | Уборка чистых помещений класса 100 и вакуумная упаковка, | |
25 штук в одной кассетной упаковке или поштучной упаковке. |
Упаковка и доставка
Вообще говоря, мы предоставляем посылка в кассетной коробке по 25 штук; мы также можем упаковать один вафельный контейнер под чистящую комнату класса 100 в соответствии с требованиями клиента.