4-дюймовая пластина-подложка из сапфира Al2O3 высокой чистоты 99,999%, диаметр 101,6×0,65 мм, с первичной плоской длиной
Описание
Ниже приведены общие характеристики 4-дюймовых сапфировых пластин:
Толщина: Толщина обычных сапфировых пластин составляет от 0,2 мм до 2 мм, конкретная толщина может быть изменена в соответствии с требованиями заказчика.
Кромка размещения: Обычно на краю пластины имеется небольшой участок, называемый «кромкой размещения», который защищает поверхность и край пластины и обычно является аморфным.
Подготовка поверхности: Обычные сапфировые пластины подвергаются механической шлифовке и химико-механической полировке для сглаживания поверхности.
Свойства поверхности: Поверхность сапфировых пластин обычно имеет хорошие оптические свойства, такие как низкая отражательная способность и низкий показатель преломления, что повышает производительность устройства.
Приложения
● Субстрат для роста соединений III-V и II-VI
● Электроника и оптоэлектроника
● ИК-приложения
● Интегральная схема «Кремний на сапфире» (SOS)
● Радиочастотная интегральная схема (RFIC)
Спецификация
Элемент | 4-дюймовые сапфировые пластины C-plane(0001) толщиной 650 мкм | |
Кристаллические материалы | 99,999%, высокая чистота, монокристаллический Al2O3 | |
Оценка | Prime, Epi-Ready | |
Ориентация поверхности | C-плоскость (0001) | |
Отклонение плоскости С от оси М на 0,2 +/- 0,1° | ||
Диаметр | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
Толщина | 650 мкм +/- 25 мкм | |
Первичная плоская ориентация | Плоскость А(11-20) +/- 0,2° | |
Длина первичной плоскости | 30,0 мм +/- 1,0 мм | |
Односторонняя полировка | Передняя поверхность | Эпиполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
(ССП) | Задняя поверхность | Тонкая шлифовка, Ra = 0,8 мкм – 1,2 мкм |
Двусторонняя полировка | Передняя поверхность | Эпиполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
(ЦСП) | Задняя поверхность | Эпиполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
ТТВ | < 20 мкм | |
ПОКЛОН | < 20 мкм | |
ВАРП | < 20 мкм | |
Очистка/Упаковка | Очистка чистых помещений класса 100 и вакуумная упаковка, | |
25 штук в одной кассетной упаковке или поштучной упаковке. |
Мы обладаем многолетним опытом работы в сфере обработки сапфиров, включая работу с китайским рынком поставщиков и международным спросом. Если у вас есть какие-либо потребности, пожалуйста, свяжитесь с нами.
Подробная схема


