4-дюймовая пластина-подложка из сапфира Al2O3 высокой чистоты 99,999%, диаметр 101,6×0,65 мм с первичной плоской длиной
Описание
Ниже приведены общие характеристики 4-дюймовых сапфировых пластин:
Толщина: Толщина обычных сапфировых пластин составляет от 0,2 мм до 2 мм, конкретная толщина может быть изменена в соответствии с требованиями заказчика.
Край размещения: Обычно на краю пластины имеется небольшой участок, называемый «краем размещения», который защищает поверхность и край пластины и обычно является аморфным.
Подготовка поверхности: Обычные сапфировые пластины подвергаются механической шлифовке и химико-механической полировке для придания гладкости поверхности.
Свойства поверхности: Поверхность сапфировых пластин обычно имеет хорошие оптические свойства, такие как низкая отражательная способность и низкий показатель преломления, что улучшает производительность устройства.
Приложения
● Субстрат для роста соединений III-V и II-VI
● Электроника и оптоэлектроника
● ИК-приложения
● Интегральная схема «Кремний на сапфире» (SOS)
● Радиочастотная интегральная схема (RFIC)
Спецификация
| Элемент | 4-дюймовые пластины сапфира C-plane(0001) 650 мкм | |
| Кристаллические Материалы | 99,999%, высокая чистота, монокристаллический Al2O3 | |
| Оценка | Prime, Epi-Ready | |
| Ориентация поверхности | C-плоскость (0001) | |
| Отклонение плоскости С от оси М на 0,2 +/- 0,1° | ||
| Диаметр | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
| Толщина | 650 мкм +/- 25 мкм | |
| Первичная плоская ориентация | Плоскость А(11-20) +/- 0,2° | |
| Длина первичной плоскости | 30,0 мм +/- 1,0 мм | |
| Полированная односторонняя поверхность | Передняя поверхность | Эпи-полировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
| (ССП) | Задняя поверхность | Тонкая шлифовка, Ra = 0,8 мкм - 1,2 мкм |
| Полировка с двух сторон | Передняя поверхность | Эпи-полировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
| (ЦСП) | Задняя поверхность | Эпи-полировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
| ТТВ | < 20 мкм | |
| ПОКЛОН | < 20 мкм | |
| ВАРП | < 20 мкм | |
| Очистка/Упаковка | Очистка чистых помещений класса 100 и вакуумная упаковка, | |
| 25 штук в одной кассетной упаковке или поштучной упаковке. | ||
У нас многолетний опыт работы в отрасли обработки сапфиров. Включая китайский рынок поставщиков, а также международный рынок спроса. Если у вас есть какие-либо потребности, пожалуйста, свяжитесь с нами.
Подробная схема
