4-дюймовая пластина Dia101,6×0,65 мм с сапфировой подложкой высокой чистоты Al2O3 99,999% с первичной плоской длиной
Описание
Общие характеристики 4-дюймовых сапфировых пластин представлены следующим образом:
Толщина: Толщина обычных сапфировых пластин составляет от 0,2 до 2 мм, а конкретная толщина может быть настроена в соответствии с требованиями заказчика.
Край размещения: обычно на краю пластины имеется небольшой участок, называемый «краем размещения», который защищает поверхность и край пластины и обычно является аморфным.
Подготовка поверхности: Обычные сапфировые пластины механически шлифуются и химически-механически полируются для гладкой поверхности.
Свойства поверхности: Поверхность сапфировых пластин обычно имеет хорошие оптические свойства, такие как низкая отражательная способность и низкий показатель преломления, что позволяет улучшить характеристики устройства.
Приложения
● Субстрат для выращивания соединений III-V и II-VI.
● Электроника и оптоэлектроника
● ИК-приложения
● Интегральная схема кремния на сапфире (SOS)
● Радиочастотная интегральная схема (RFIC).
Спецификация
Элемент | 4-дюймовая C-плоскость (0001), сапфировые пластины толщиной 650 мкм | |
Кристаллические материалы | 99,999%, высокая чистота, монокристаллический Al2O3 | |
Оценка | Prime, Epi-Ready | |
Ориентация поверхности | C-плоскость(0001) | |
Угол отклонения плоскости C по отношению к оси M 0,2 +/- 0,1° | ||
Диаметр | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
Толщина | 650 мкм +/- 25 мкм | |
Первичная плоская ориентация | Плоскость А(11-20) +/- 0,2° | |
Основная плоская длина | 30,0 мм +/- 1,0 мм | |
Односторонняя полировка | Передняя поверхность | Эпиполировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
(ССП) | Задняя поверхность | Тонкое шлифование, Ra = от 0,8 мкм до 1,2 мкм. |
Двойная полированная сторона | Передняя поверхность | Эпиполировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
(ЦСП) | Задняя поверхность | Эпиполировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
ТТВ | < 20 мкм | |
ПОКЛОН | < 20 мкм | |
ДЕФОРМАЦИЯ | < 20 мкм | |
Очистка/Упаковка | Уборка чистых помещений класса 100 и вакуумная упаковка, | |
25 штук в одной кассетной упаковке или поштучной упаковке. |
Мы имеем многолетний опыт работы в сфере обработки сапфира. Включая китайский рынок поставщиков, а также международный рынок спроса. Если у вас есть какие-либо потребности, пожалуйста, свяжитесь с нами.