4-дюймовая пластина из высокочистого оксида алюминия (Al2O3) 99,999% на сапфировой подложке, диаметр 101,6 × 0,65 мм, с основной плоской частью.
Описание
Ниже представлены общие технические характеристики 4-дюймовых сапфировых пластин:
Толщина: Толщина обычных сапфировых пластин составляет от 0,2 до 2 мм, а конкретная толщина может быть изготовлена по индивидуальному заказу в соответствии с требованиями заказчика.
Край пластины для размещения кристалла: Обычно на краю пластины имеется небольшой участок, называемый «краем для размещения кристалла», который защищает поверхность и край пластины и, как правило, имеет аморфную структуру.
Подготовка поверхности: Обычные сапфировые пластины подвергаются механической шлифовке и химико-механической полировке для сглаживания поверхности.
Свойства поверхности: Поверхность сапфировых пластин обычно обладает хорошими оптическими свойствами, такими как низкая отражательная способность и низкий показатель преломления, что улучшает характеристики устройства.
Приложения
● Субстрат для роста соединений III-V и II-VI
● Электроника и оптоэлектроника
● Применение в ИК-технологиях
● Интегральная схема на кремниевой подложке (SOS)
● Радиочастотная интегральная схема (РЧИС)
Спецификация
| Элемент | 4-дюймовые сапфировые пластины C-плоскости (0001) 650 мкм | |
| Кристаллические материалы | 99,999%, высокочистый, монокристаллический Al2O3 | |
| Оценка | Prime, Epi-Ready | |
| Ориентация поверхности | C-плоскость (0001) | |
| Угол отклонения плоскости C от оси M составляет 0,2 +/- 0,1° | ||
| Диаметр | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
| Толщина | 650 мкм +/- 25 мкм | |
| Ориентация основной квартиры | Плоскость А (11-20) +/- 0,2° | |
| Основная плоская длина | 30,0 мм +/- 1,0 мм | |
| Односторонняя полировка | Передняя поверхность | Эпитаксиально отполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
| (ССП) | Обратная поверхность | Мелкодисперсный шлифованный материал, Ra = 0,8 мкм - 1,2 мкм |
| Двусторонняя полировка | Передняя поверхность | Эпитаксиально отполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
| (DSP) | Обратная поверхность | Эпитаксиально отполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
| ТТВ | < 20 мкм | |
| ПОКЛОН | < 20 мкм | |
| WARP | < 20 мкм | |
| Чистка / Упаковка | Очистка чистых помещений класса 100 и вакуумная упаковка. | |
| 25 штук в одной кассете или в индивидуальной упаковке. | ||
Мы обладаем многолетним опытом работы в индустрии обработки сапфиров, включая китайский рынок поставщиков, а также международный рынок спроса. Если у вас возникнут какие-либо потребности, пожалуйста, свяжитесь с нами.
Подробная схема
