Производственная подложка из 3-дюймового SiC, диаметр 76,2 мм, 4H-N
Основные характеристики 3-дюймовых кремниево-карбидных MOSFET-пластин следующие:
Карбид кремния (SiC) — это широкозонный полупроводниковый материал, характеризующийся высокой теплопроводностью, высокой подвижностью электронов и высокой напряженностью электрического поля пробоя. Эти свойства делают кремниевые пластины SiC превосходными материалами для применения в мощных, высокочастотных и высокотемпературных устройствах. В частности, полиморфная модификация 4H-SiC обладает кристаллической структурой, обеспечивающей отличные электронные характеристики, что делает её предпочтительным материалом для силовых электронных устройств.
Трехдюймовая кремниевая карбидная пластина 4H-N представляет собой легированную азотом пластину с проводимостью N-типа. Этот метод легирования обеспечивает пластине более высокую концентрацию электронов, тем самым улучшая проводящие характеристики устройства. Размер пластины, составляющий 3 дюйма (диаметр 76,2 мм), является распространенным размером в полупроводниковой промышленности и подходит для различных производственных процессов.
Трехдюймовая кремниевая карбидная пластина 4H-N производится методом физического переноса паров (PVT). Этот процесс включает в себя превращение порошка SiC в монокристаллы при высоких температурах, что обеспечивает качество кристаллов и однородность пластины. Кроме того, толщина пластины обычно составляет около 0,35 мм, а ее поверхность подвергается двусторонней полировке для достижения чрезвычайно высокой степени плоскостности и гладкости, что имеет решающее значение для последующих процессов производства полупроводников.
Область применения 3-дюймовых кремниевых пластин из карбида кремния 4H-N весьма обширна и включает в себя мощные электронные устройства, высокотемпературные датчики, радиочастотные устройства и оптоэлектронные приборы. Благодаря превосходным характеристикам и надежности эти устройства стабильно работают в экстремальных условиях, удовлетворяя потребности современной электронной промышленности в высокоэффективных полупроводниковых материалах.
Мы можем предоставить 3-дюймовые подложки из карбида кремния 4H-N, а также различные сорта кремниевых пластин. Мы также можем организовать изготовление продукции на заказ в соответствии с вашими потребностями. Добро пожаловать!
Подробная схема



