2-дюймовый слиток SiC диаметром 50,8 мм x 10 мм, монокристалл 4H-N

Краткое описание:

Слиток карбида кремния (SiC) диаметром 2 дюйма (5,5 см) представляет собой цилиндрический или блочный монокристалл карбида кремния с диаметром или длиной ребра 2 дюйма (5,5 см). Слитки карбида кремния используются в качестве исходного материала для производства различных полупроводниковых приборов, таких как силовые электронные приборы и оптоэлектронные устройства.

Напишите нам письмо

Функции

Технология выращивания кристаллов SiC

Характеристики SiC затрудняют выращивание монокристаллов. Это в основном связано с тем, что при атмосферном давлении отсутствует жидкая фаза со стехиометрическим соотношением Si : C = 1 : 1, и невозможно выращивать SiC более зрелыми методами роста, такими как метод прямого вытягивания и метод падающего тигля, которые являются основой полупроводниковой промышленности. Теоретически, раствор со стехиометрическим соотношением Si : C = 1 : 1 можно получить только при давлении выше 10E5атм и температуре выше 3200℃. В настоящее время основными методами являются метод PVT, жидкофазный метод и метод высокотемпературного химического осаждения из паровой фазы.

Поставляемые нами пластины и кристаллы SiC выращиваются в основном методом физического переноса паров (PVT). Ниже приведено краткое введение в PVT:

Метод физического переноса паров (PVT) возник из метода газофазной сублимации, изобретенного Лели в 1955 году, в котором порошок SiC помещается в графитовую трубку и нагревается до высокой температуры, чтобы порошок SiC разложился и сублимировался, а затем графитовая трубка охлаждается, и разложившиеся газофазные компоненты порошка SiC осаждаются и кристаллизуются в виде кристаллов SiC в окружающей области графитовой трубки. Хотя этот метод сложен для получения крупных монокристаллов SiC, а процесс осаждения внутри графитовой трубки трудно контролировать, он дает идеи для последующих исследователей.

На этой основе в России Ю.М. Таиров и др. предложили концепцию затравочного кристалла, что решило проблему неконтролируемой формы кристалла и положения зародыша SiC. Последующие исследователи продолжили совершенствование и в конечном итоге разработали метод физического переноса паров (PVT), который сегодня используется в промышленности.

Будучи самым ранним методом выращивания кристаллов SiC, метод PVT в настоящее время является наиболее распространённым методом роста кристаллов SiC. По сравнению с другими методами, этот метод отличается низкими требованиями к ростовому оборудованию, простотой процесса, высокой управляемостью, тщательной разработкой и исследованиями и уже получил промышленное распространение.