2-дюймовые кремниевые пластины SiC с полуизолирующими подложками SiC 6H или 4H, диаметр 50,8 мм.
Применение подложки из карбида кремния
Подложки из карбида кремния можно разделить на проводящие и полуизолирующие в зависимости от удельного сопротивления. Проводящие устройства из карбида кремния в основном используются в электромобилях, фотоэлектрических системах, железнодорожном транспорте, центрах обработки данных, зарядных станциях и другой инфраструктуре. В индустрии электромобилей существует огромный спрос на проводящие подложки из карбида кремния, и в настоящее время Tesla, BYD, NIO, Xiaopeng и другие компании, занимающиеся разработкой электромобилей, планируют использовать дискретные устройства или модули из карбида кремния.
Полуизолированные устройства на основе карбида кремния в основном используются в сетях связи 5G, автомобильной связи, оборонных приложениях, передаче данных, аэрокосмической отрасли и других областях. Путем выращивания эпитаксиального слоя нитрида галлия на полуизолированной подложке из карбида кремния, из полученной на основе кремния эпитаксиальной пластины нитрида галлия можно создавать микроволновые радиочастотные устройства, которые в основном используются в радиочастотной области, например, усилители мощности в сетях связи 5G и радиодетекторы в оборонной промышленности.
Производство изделий из карбида кремния включает в себя разработку оборудования, синтез сырья, выращивание кристаллов, резку кристаллов, обработку пластин, очистку и тестирование, а также множество других этапов. Что касается сырья, то борная промышленность Суншаня поставляет на рынок карбид кремния и успешно осуществляет мелкосерийные продажи. Полупроводниковые материалы третьего поколения, представленные карбидом кремния, играют ключевую роль в современной промышленности, а с ускорением внедрения электромобилей и фотоэлектрических приложений спрос на подложки из карбида кремния вот-вот достигнет переломного момента.
Подробная схема





