2-дюймовые пластины SiC 6H или 4H полуизолирующие подложки SiC диаметром 50,8 мм
Применение подложки из карбида кремния
Подложки из карбида кремния можно разделить на проводящие и полуизолирующие в зависимости от удельного сопротивления. Проводящие устройства из карбида кремния в основном используются в электромобилях, фотоэлектрических системах, железнодорожном транспорте, центрах обработки данных, зарядных устройствах и других объектах инфраструктуры. Индустрия электромобилей испытывает огромный спрос на проводящие подложки из карбида кремния, и в настоящее время Tesla, BYD, NIO, Xiaopeng и другие компании, производящие автомобили на новых источниках энергии, планируют использовать дискретные устройства или модули из карбида кремния.
Полуизолированные устройства из карбида кремния в основном используются в системах связи 5G, автомобильной связи, национальной обороне, передаче данных, аэрокосмической отрасли и других областях. Выращивая эпитаксиальный слой нитрида галлия на полуизолированной подложке из карбида кремния, эпитаксиальная пластина нитрида галлия на основе кремния может быть впоследствии использована для создания СВЧ-устройств, которые в основном используются в области радиочастот, например, в усилителях мощности для связи 5G и радиодетекторах для национальной обороны.
Производство изделий на основе карбида кремния включает в себя разработку оборудования, синтез сырья, выращивание кристаллов, резку кристаллов, обработку пластин, очистку и испытания, а также многие другие этапы. Что касается сырья, компания Songshan Boron Industry поставляет на рынок карбид кремния и реализует его небольшими партиями. Полупроводниковые материалы третьего поколения, представленные карбидом кремния, играют ключевую роль в современной промышленности. С ускорением проникновения новых видов транспорта на энергии и фотоэлектрических систем спрос на карбид кремниевые подложки приближается к переломному моменту.
Подробная схема

