2-дюймовая, 4-дюймовая, 6-дюймовая подложка из сапфира с рисунком (PSS), на которой выращивается материал GaN, может использоваться для светодиодного освещения.
Основные характеристики
1. Структурные характеристики:
Поверхность PSS имеет упорядоченный конусообразный или треугольный конусообразный рисунок, форму, размер и распределение которого можно контролировать путем регулирования параметров процесса травления.
Эти графические структуры помогают изменить путь распространения света и уменьшить полное отражение света, тем самым повышая эффективность извлечения света.
2. Характеристики материала:
В качестве подложки в PSS используется высококачественный сапфир, обладающий такими характеристиками, как высокая твердость, высокая теплопроводность, хорошая химическая стабильность и оптическая прозрачность.
Эти характеристики позволяют PSS выдерживать суровые условия окружающей среды, такие как высокие температуры и давление, сохраняя при этом превосходные оптические свойства.
3. Оптические характеристики:
Изменяя многократное рассеяние на границе раздела между GaN и сапфировой подложкой, PSS позволяет фотонам, полностью отраженным внутри слоя GaN, выйти за пределы сапфировой подложки.
Эта особенность значительно повышает эффективность извлечения света светодиодом и увеличивает интенсивность его свечения.
4. Характеристики процесса:
Процесс производства PSS достаточно сложен и включает в себя множество этапов, таких как литография и травление, а также требует высокоточного оборудования и контроля технологического процесса.
Однако, благодаря постоянному развитию технологий и снижению затрат, производственный процесс PSS постепенно оптимизируется и совершенствуется.
Ключевое преимущество
1. Повышение эффективности извлечения света: PSS значительно повышает эффективность извлечения света светодиодом за счет изменения пути распространения света и уменьшения полного отражения.
2. Продление срока службы светодиода: PSS может снизить плотность дислокаций в эпитаксиальных материалах GaN, тем самым уменьшая нерадиационную рекомбинацию и обратный ток утечки в активной области, что продлевает срок службы светодиода.
3. Повышение яркости светодиодов: Благодаря повышению эффективности извлечения света и увеличению срока службы светодиодов, интенсивность свечения светодиодов на PSS значительно возрастает.
4. Снижение производственных затрат: Хотя процесс производства PSS относительно сложен, он может значительно повысить светоотдачу и срок службы светодиодов, тем самым в определенной степени снижая производственные затраты и повышая конкурентоспособность продукта.
Основные области применения
1. Светодиодное освещение: использование PSS в качестве подложки для светодиодных чипов позволяет значительно повысить светоотдачу и срок службы светодиодов.
В области светодиодного освещения PSS широко используется в различных осветительных приборах, таких как уличные фонари, настольные лампы, автомобильные фары и так далее.
2. Полупроводниковые приборы: Помимо светодиодного освещения, PSS также может использоваться для производства других полупроводниковых приборов, таких как детекторы света, лазеры и т. д. Эти приборы имеют широкий спектр применения в связи, медицине, военной и других областях.
3. Оптоэлектронная интеграция: Оптические свойства и стабильность PSS делают его одним из идеальных материалов в области оптоэлектронной интеграции. В оптоэлектронной интеграции PSS может использоваться для создания оптических волноводов, оптических переключателей и других компонентов для реализации передачи и обработки оптических сигналов.
Технические параметры
| Элемент | Узорчатая сапфировая подложка (2–6 дюймов) | ||
| Диаметр | 50,8 ± 0,1 мм | 100,0 ± 0,2 мм | 150,0 ± 0,3 мм |
| Толщина | 430 ± 25 мкм | 650 ± 25 мкм | 1000 ± 25 мкм |
| Ориентация поверхности | Угол отклонения плоскости C (0001) от оси M (10-10) составляет 0,2 ± 0,1° | ||
| Плоскость C (0001) под углом к оси A (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Ориентация основной квартиры | Плоскость А (11-20) ± 1,0° | ||
| Основная плоская длина | 16,0 ± 1,0 мм | 30,0 ± 1,0 мм | 47,5 ± 2,0 мм |
| R-план | 9 часов | ||
| Отделка лицевой поверхности | Узорчатый | ||
| Отделка задней поверхности | SSP: тонкая шлифовка, Ra = 0,8–1,2 мкм; DSP: эпитаксиальная полировка, Ra < 0,3 нм | ||
| Лазерная маркировка | Обратная сторона | ||
| ТТВ | ≤8 мкм | ≤10 мкм | ≤20 мкм |
| ПОКЛОН | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤25 мкм |
| WARP | ≤12 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
| Исключение края | ≤2 мм | ||
| Спецификация шаблона | Форма и структура | Купол, конус, пирамида | |
| Высота узора | 1,6~1,8 мкм | ||
| Диаметр рисунка | 2,75~2,85 мкм | ||
| Пространство шаблонов | 0,1~0,3 мкм | ||
Компания XKH специализируется на разработке, производстве и продаже сапфировых подложек с рисунком (PSS) и стремится предоставлять высококачественную и высокоэффективную продукцию PSS клиентам по всему миру. XKH обладает передовыми технологиями производства и профессиональной технической командой, позволяющей изготавливать продукцию PSS с различными характеристиками и структурой рисунка в соответствии с потребностями заказчика. При этом XKH уделяет внимание качеству продукции и сервиса, предоставляя клиентам полный спектр технической поддержки и решений. В области PSS компания XKH накопила богатый опыт и преимущества и рассчитывает на сотрудничество с глобальными партнерами для совместного продвижения инновационного развития светодиодного освещения, полупроводниковых приборов и других отраслей.
Подробная схема
