2-дюймовая, 4-дюймовая и 6-дюймовая структурированная сапфировая подложка (PSS), на которой выращивается материал GaN, может использоваться для светодиодного освещения.
Основные характеристики
1. Конструктивные характеристики:
Поверхность PSS имеет упорядоченный конический или треугольный конический рисунок, форму, размер и распределение которого можно контролировать, регулируя параметры процесса травления.
Эти графические структуры помогают изменить путь распространения света и уменьшить общее отражение света, тем самым повышая эффективность светоизвлечения.
2. Характеристики материала:
В качестве материала подложки PSS использует высококачественный сапфир, обладающий такими характеристиками, как высокая твердость, высокая теплопроводность, хорошая химическая стабильность и оптическая прозрачность.
Эти характеристики позволяют PSS выдерживать суровые условия, такие как высокие температуры и давления, сохраняя при этом превосходные оптические характеристики.
3. Оптические характеристики:
Изменяя многократное рассеяние на границе раздела между GaN и сапфировой подложкой, PSS дает фотонам, которые полностью отражаются внутри слоя GaN, возможность покинуть сапфировую подложку.
Эта функция значительно повышает эффективность светоотдачи светодиода и увеличивает его интенсивность света.
4. Характеристики процесса:
Процесс производства PSS относительно сложен, включает несколько этапов, таких как литография и травление, и требует высокоточного оборудования и контроля процесса.
Однако, благодаря постоянному совершенствованию технологий и снижению затрат, процесс производства ПСС постепенно оптимизируется и совершенствуется.
Основное преимущество
1. Повышение эффективности светоизвлечения: PSS значительно повышает эффективность светоизвлечения светодиодов за счет изменения пути распространения света и снижения полного отражения.
2. Продление срока службы светодиодов: PSS может уменьшить плотность дислокаций эпитаксиальных материалов GaN, тем самым уменьшая безызлучательную рекомбинацию и обратный ток утечки в активной области, продлевая срок службы светодиодов.
3. Повышение яркости светодиодов: благодаря повышению эффективности светоотдачи и увеличению срока службы светодиодов интенсивность свечения светодиодов на PSS значительно увеличивается.
4. Снижение производственных затрат: хотя процесс производства PSS относительно сложен, он может значительно улучшить световую эффективность и срок службы светодиодов, тем самым в определенной степени снижая производственные затраты и повышая конкурентоспособность продукции.
Основные области применения
1. Светодиодное освещение: PSS в качестве материала подложки для светодиодных чипов может значительно улучшить световую эффективность и срок службы светодиодов.
В области светодиодного освещения PSS широко используется в различных осветительных приборах, таких как уличные фонари, настольные лампы, автомобильные фары и т. д.
2. Полупроводниковые приборы: Помимо светодиодного освещения, PSS также может использоваться для производства других полупроводниковых приборов, таких как детекторы света, лазеры и т. д. Эти приборы имеют широкий спектр применения в области связи, медицины, обороны и других областях.
3.Оптоэлектронная интеграция: Оптические свойства и стабильность PSS делают его одним из идеальных материалов в области оптоэлектронной интеграции. В оптоэлектронной интеграции PSS может использоваться для изготовления оптических волноводов, оптических переключателей и других компонентов для реализации передачи и обработки оптических сигналов.
Технические параметры
Элемент | Узорчатая сапфировая подложка (2~6 дюймов) | ||
Диаметр | 50,8 ± 0,1 мм | 100,0 ± 0,2 мм | 150,0 ± 0,3 мм |
Толщина | 430 ± 25 мкм | 650 ± 25 мкм | 1000 ± 25 мкм |
Ориентация поверхности | Плоскость С (0001) под углом к оси М (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
Плоскость С (0001) под углом к оси А (11-20) 0 ± 0,1° | |||
Первичная плоская ориентация | Плоскость А (11-20) ± 1,0° | ||
Длина первичной плоскости | 16,0 ± 1,0 мм | 30,0 ± 1,0 мм | 47,5 ± 2,0 мм |
R-План | 9 часов | ||
Отделка передней поверхности | Узорчатый | ||
Отделка задней поверхности | SSP: Тонкая шлифовка, Ra=0,8-1,2 мкм; DSP: Эпиполировка, Ra<0,3 нм | ||
Лазерная маркировка | Задняя сторона | ||
ТТВ | ≤8мкм | ≤10мкм | ≤20мкм |
ПОКЛОН | ≤10мкм | ≤15мкм | ≤25мкм |
ВАРП | ≤12мкм | ≤20мкм | ≤30мкм |
Исключение кромки | ≤2 мм | ||
Спецификация шаблона | Структура формы | Купол, Конус, Пирамида | |
Высота узора | 1,6~1,8 мкм | ||
Диаметр узора | 2,75~2,85 мкм | ||
Пространство шаблонов | 0,1~0,3 мкм |
XKH фокусируется на разработке, производстве и продаже структурированной сапфировой подложки (PSS) и стремится предоставлять высококачественные, высокопроизводительные продукты PSS клиентам по всему миру. XKH имеет передовые производственные технологии и профессиональную техническую команду, которая может настраивать продукты PSS с различными спецификациями и различными структурами шаблонов в соответствии с потребностями клиентов. В то же время XKH уделяет внимание качеству продукции и качеству обслуживания и стремится предоставлять клиентам полный спектр технической поддержки и решений. В области PSS XKH накопила богатый опыт и преимущества и рассчитывает на совместную работу с глобальными партнерами для совместного продвижения инновационного развития светодиодного освещения, полупроводниковых приборов и других отраслей промышленности.
Подробная схема


