156 мм 159 мм 6-дюймовая сапфировая пластина для несущей C-Plane DSP TTV
Спецификация
Элемент | 6-дюймовые сапфировые пластины C-plane(0001) | |
Кристаллические Материалы | 99,999%, высокая чистота, монокристаллический Al2O3 | |
Оценка | Prime, Epi-Ready | |
Ориентация поверхности | C-плоскость (0001) | |
Отклонение плоскости С от оси М на 0,2 +/- 0,1° | ||
Диаметр | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
Толщина | 650 мкм +/- 25 мкм | |
Первичная плоская ориентация | Плоскость С (00-01) +/- 0,2° | |
Полированная односторонняя поверхность | Передняя поверхность | Эпи-полировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
(ССП) | Задняя поверхность | Тонкая шлифовка, Ra = 0,8 мкм - 1,2 мкм |
Полировка с двух сторон | Передняя поверхность | Эпи-полировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
(ЦСП) | Задняя поверхность | Эпи-полировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
ТТВ | < 20 мкм | |
ПОКЛОН | < 20 мкм | |
ВАРП | < 20 мкм | |
Очистка/Упаковка | Очистка чистых помещений класса 100 и вакуумная упаковка, | |
25 штук в одной кассетной упаковке или поштучной упаковке. |
Метод Килопулоса (метод KY) в настоящее время используется многими компаниями в Китае для производства сапфировых кристаллов, используемых в электронной и оптической промышленности.
В этом процессе высокочистый оксид алюминия плавится в тигле при температуре выше 2100 градусов по Цельсию. Обычно тигель изготавливается из вольфрама или молибдена. Точно ориентированный затравочный кристалл погружается в расплавленный глинозем. Затравочный кристалл медленно вытягивается вверх и может одновременно вращаться. Точно контролируя температурный градиент, скорость вытягивания и скорость охлаждения, из расплава можно получить большой монокристаллический почти цилиндрический слиток.
После выращивания слитков монокристаллического сапфира их сверлят в цилиндрические стержни, которые затем разрезают до нужной толщины и, наконец, полируют до желаемой чистоты поверхности.
Подробная схема


