156 мм 159 мм 6-дюймовая сапфировая пластина для C-Plane DSP TTV

Сапфировая пластина 156 мм 159 мм 6 дюймов для C-Plane DSP TTV (изображение на фото)

Краткое описание:

Сапфировые пластины из оксида алюминия Al2O3 диаметром 156 мм/159 мм, двухсторонняя полировка (DSP), с толщиной подложки менее 3 микрон. Дополнительные пластины диаметром 8″ / 6″ / 5″ / 2″ / 3″ / 4″ / 5″ по осям C, A, R и M. Сапфировые пластины в плоскости C диаметром до 6 дюймов (6″/6inch), с односторонней полировкой (SSP) или двухсторонней полировкой (DSP) и толщиной 650 микрон или 1000 микрон.

Отправьте нам электронное письмо

Функции

Спецификация

Элемент	6-дюймовые сапфировые пластины C-плоскости (0001)
Кристаллические материалы	99,999%, высокочистый, монокристаллический Al2O3
Оценка	Prime, Epi-Ready
Ориентация поверхности	C-плоскость (0001)
	Угол отклонения плоскости C от оси M составляет 0,2 +/- 0,1°
Диаметр	100,0 мм +/- 0,1 мм
Толщина	650 мкм +/- 25 мкм
Ориентация основной квартиры	Плоскость C (00-01) +/- 0,2°
Односторонняя полировка	Передняя поверхность	Эпитаксиально отполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ)
(ССП)	Обратная поверхность	Мелкодисперсный шлифованный материал, Ra = 0,8 мкм - 1,2 мкм
Двусторонняя полировка	Передняя поверхность	Эпитаксиально отполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ)
(DSP)	Обратная поверхность	Эпитаксиально отполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ)
ТТВ	< 20 мкм
ПОКЛОН	< 20 мкм
WARP	< 20 мкм
Чистка / Упаковка	Очистка чистых помещений класса 100 и вакуумная упаковка.
	25 штук в одной кассете или в индивидуальной упаковке.

Метод Килопулоса (метод KY) в настоящее время используется многими компаниями в Китае для производства сапфировых кристаллов, применяемых в электронной и оптической промышленности.

В этом процессе высокочистый оксид алюминия плавят в тигле при температурах выше 2100 градусов Цельсия. Обычно тигель изготавливают из вольфрама или молибдена. Точно ориентированный затравочный кристалл погружают в расплавленный оксид алюминия. Затравочный кристалл медленно вытягивают вверх, при этом его можно одновременно вращать. Точно контролируя температурный градиент, скорость вытягивания и скорость охлаждения, из расплава можно получить большой монокристаллический, почти цилиндрический слиток.

После выращивания монокристаллических сапфировых слитков из них изготавливают цилиндрические стержни, которые затем разрезают на заготовки необходимой толщины и, наконец, полируют до желаемой чистоты поверхности.