156 мм 159 мм 6-дюймовая сапфировая пластина для несущей C-Plane DSP TTV

Краткое описание:

Пластины сапфира Al2O3 с двусторонней полировкой (DSP) диаметром 156/159 мм, диаметром 6 дюймов, с TTV менее 3 микрон для плат-носителей. Дополнительные пластины диаметром 8 дюймов, 6 дюймов, 5 дюймов, 2 дюйма, 3 дюйма, 4 дюйма, 5 дюймов для осей C, A, R и M. Пластины сапфира в C-плоскости диаметром до 6 дюймов (6 дюймов/6 дюймов) с односторонней полировкой (SSP) или двусторонней полировкой (DSP) и толщиной 650 микрон или 1000 микрон.

Написать нам письмо

Функции

Спецификация

Элемент	6-дюймовые сапфировые пластины C-plane(0001)
Кристаллические материалы	99,999%, высокая чистота, монокристаллический Al2O3
Оценка	Prime, Epi-Ready
Ориентация поверхности	C-плоскость (0001)
	Отклонение плоскости С от оси М на 0,2 +/- 0,1°
Диаметр	100,0 мм +/- 0,1 мм
Толщина	650 мкм +/- 25 мкм
Первичная плоская ориентация	Плоскость С (00-01) +/- 0,2°
Односторонняя полировка	Передняя поверхность	Эпиполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ)
(ССП)	Задняя поверхность	Тонкая шлифовка, Ra = 0,8 мкм – 1,2 мкм
Двусторонняя полировка	Передняя поверхность	Эпиполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ)
(ЦСП)	Задняя поверхность	Эпиполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ)
ТТВ	< 20 мкм
ПОКЛОН	< 20 мкм
ВАРП	< 20 мкм
Очистка/Упаковка	Очистка чистых помещений класса 100 и вакуумная упаковка,
	25 штук в одной кассетной упаковке или поштучной упаковке.

Метод Килопулоса (метод KY) в настоящее время используется многими компаниями в Китае для производства кристаллов сапфира, используемых в электронной и оптической промышленности.

В этом процессе высокочистый оксид алюминия плавится в тигле при температуре выше 2100 градусов Цельсия. Обычно тигель изготавливается из вольфрама или молибдена. В расплавленный оксид алюминия погружается точно ориентированный затравочный кристалл. Затравочный кристалл медленно вытягивается вверх и может одновременно вращаться. Точно контролируя температурный градиент, скорость вытягивания и скорость охлаждения, из расплава можно получить большой монокристаллический слиток, почти цилиндрической формы.

После выращивания слитков монокристаллического сапфира их высверливают в цилиндрические стержни, которые затем разрезают до нужной толщины и, наконец, полируют до желаемой чистоты поверхности.