156 мм 159 мм 6-дюймовая сапфировая пластина для несущей C-Plane DSP TTV
Спецификация
Элемент | 6-дюймовая C-плоскость (0001) сапфировые пластины | |
Кристаллические материалы | 99,999%, высокая чистота, монокристаллический Al2O3 | |
Оценка | Prime, Epi-Ready | |
Ориентация поверхности | C-плоскость(0001) | |
Угол отклонения плоскости C по отношению к оси M 0,2 +/- 0,1° | ||
Диаметр | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
Толщина | 650 мкм +/- 25 мкм | |
Первичная плоская ориентация | C-плоскость (00-01) +/- 0,2° | |
Односторонняя полировка | Передняя поверхность | Эпиполировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
(ССП) | Задняя поверхность | Тонкое шлифование, Ra = от 0,8 мкм до 1,2 мкм. |
Двойная полированная сторона | Передняя поверхность | Эпиполировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
(ЦСП) | Задняя поверхность | Эпиполировка, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
ТТВ | < 20 мкм | |
ПОКЛОН | < 20 мкм | |
ДЕФОРМАЦИЯ | < 20 мкм | |
Очистка/Упаковка | Уборка чистых помещений класса 100 и вакуумная упаковка, | |
25 штук в одной кассетной упаковке или поштучной упаковке. |
Метод Килопулоса (метод KY) в настоящее время используется многими компаниями в Китае для производства сапфировых кристаллов для использования в электронной и оптической промышленности.
В этом процессе оксид алюминия высокой чистоты плавится в тигле при температуре выше 2100 градусов Цельсия. Обычно тигель изготавливают из вольфрама или молибдена. Точно ориентированный затравочный кристалл погружается в расплавленный оксид алюминия. Затравочный кристалл медленно вытягивается вверх и может одновременно вращаться. Точно контролируя градиент температуры, скорость вытягивания и скорость охлаждения, из расплава можно получить большой монокристаллический слиток почти цилиндрической формы.
После того, как слитки монокристаллического сапфира выращены, из них сверлят цилиндрические стержни, которые затем режут до желаемой толщины окна и, наконец, полируют до желаемого качества поверхности.