12-дюймовая (300 мм) транспортная коробка с открывающейся спереди крышкой. Коробка для хранения пластин FOSB вместимостью 25 шт. для обработки и доставки пластин. Автоматизированные операции.
Ключевые особенности
Особенность | Описание |
Емкость пластины | 25 слотовдля пластин диаметром 300 мм, предлагая решение с высокой плотностью для транспортировки и хранения пластин. |
Согласие | ПолностьюСЕМИ/ФИМСиАМХСсоответствует стандартам, обеспечивая совместимость с автоматизированными системами обработки материалов на заводах по производству полупроводников. |
Автоматизированные операции | Разработано дляавтоматизированная обработка, уменьшая взаимодействие с человеком и сводя к минимуму риски заражения. |
Возможность ручного управления | Обеспечивает гибкость ручного доступа в ситуациях, требующих вмешательства человека, или во время неавтоматизированных процессов. |
Состав материала | Сделано изсверхчистые материалы с низким газовыделением, снижая риск образования частиц и загрязнения. |
Система удержания пластин | Передовойсистема удержания пластинсводит к минимуму риск смещения пластин во время транспортировки, гарантируя, что пластины надежно останутся на месте. |
Чистота Дизайн | Специально разработаны для снижения риска образования частиц и загрязнения, сохраняя высокие стандарты, требуемые для производства полупроводников. |
Долговечность и прочность | Изготовлены из высокопрочных материалов, выдерживающих суровые условия транспортировки, сохраняя при этом структурную целостность контейнера. |
Настройка | Предложенияварианты настройкидля различных размеров пластин или требований к транспортировке, что позволяет клиентам адаптировать коробку под свои нужды. |
Подробные характеристики
Вместимость 25 слотов для пластин диаметром 300 мм
Контейнер для пластин eFOSB рассчитан на размещение до 25 пластин диаметром 300 мм. Расстояние между слотами точно рассчитано для обеспечения надёжного размещения пластин. Конструкция позволяет эффективно укладывать пластины друг на друга, предотвращая их соприкосновение, что снижает риск царапин, загрязнения и механических повреждений.
Автоматизированная обработка
Контейнер eFOSB оптимизирован для использования с автоматизированными системами обработки материалов (AMHS), которые помогают оптимизировать перемещение пластин и повысить производительность производства полупроводников. Автоматизация процесса значительно снижает риски, связанные с человеческим фактором, такие как загрязнение или повреждение. Конструкция контейнера eFOSB обеспечивает автоматическую обработку как в горизонтальном, так и в вертикальном положении, что обеспечивает плавный и надежный процесс транспортировки.
Возможность ручного управления
Хотя автоматизация является приоритетом, блок eFOSB также совместим с ручным управлением. Эта двойная функциональность полезна в ситуациях, когда необходимо вмешательство человека, например, при перемещении пластин в зоны без автоматизированных систем или в ситуациях, требующих особой точности или осторожности.
Сверхчистые материалы с низким газовыделением
Материал, используемый в боксе eFOSB, специально выбран благодаря своей низкой газоотделительной способности, что предотвращает выделение летучих соединений, которые могут потенциально загрязнить пластины. Кроме того, эти материалы обладают высокой устойчивостью к частицам, что критически важно для предотвращения загрязнения при транспортировке пластин, особенно в условиях, где чистота имеет первостепенное значение.
Предотвращение образования частиц
Конструкция коробки включает в себя функции, специально предназначенные для предотвращения образования частиц во время транспортировки. Это гарантирует отсутствие загрязнений на пластинах, что крайне важно в производстве полупроводников, где даже мельчайшие частицы могут стать причиной серьёзных дефектов.
Долговечность и надежность
Контейнер eFOSB изготовлен из прочных материалов, выдерживающих физические нагрузки при транспортировке, что гарантирует сохранение его структурной целостности в течение длительного времени. Благодаря долговечности снижается необходимость в частой замене, что делает его экономичным решением в долгосрочной перспективе.
Варианты настройки
Учитывая, что каждая линия по производству полупроводников может предъявлять уникальные требования, корпус для держателя пластин eFOSB предлагает возможности индивидуальной настройки. Корпус eFOSB можно адаптировать под конкретные потребности клиента, изменяя количество слотов, размер корпуса или используя специальные материалы.
Приложения
The12-дюймовая (300 мм) транспортная коробка с передним открыванием (eFOSB)предназначен для использования в различных приложениях в полупроводниковой промышленности, включая:
Обработка полупроводниковых пластин
Контейнер eFOSB обеспечивает безопасное и эффективное обращение с 300-миллиметровыми пластинами на всех этапах производства, от первоначального изготовления до тестирования и упаковки. Он сводит к минимуму риск загрязнения и повреждения, что крайне важно в производстве полупроводников, где точность и чистота играют ключевую роль.
Хранилище пластин
В условиях производства полупроводников пластины должны храниться в строгих условиях для сохранения их целостности. Контейнер eFOSB обеспечивает безопасное хранение, создавая надежную, чистую и стабильную среду, снижая риск деградации пластин во время хранения.
Транспорт
Транспортировка полупроводниковых пластин между различными предприятиями или внутри фабрик требует надежной упаковки для защиты хрупких пластин. Контейнер eFOSB обеспечивает оптимальную защиту во время транспортировки, гарантируя, что пластины будут доставлены без повреждений, сохраняя высокий выход готовой продукции.
Интеграция с AMHS
Коробка eFOSB идеально подходит для использования на современных автоматизированных заводах по производству полупроводников, где эффективная транспортировка материалов имеет решающее значение. Совместимость коробки с AMHS обеспечивает быстрое перемещение пластин внутри производственных линий, повышая производительность и минимизируя ошибки при транспортировке.
Вопросы и ответы по ключевым словам FOSB
В1: Что делает коробку eFOSB подходящей для обработки пластин в производстве полупроводников?
А1:Контейнер eFOSB разработан специально для полупроводниковых пластин, обеспечивая безопасную и стабильную среду для их обработки, хранения и транспортировки. Соответствие стандартам SEMI/FIMS и AMHS гарантирует полную интеграцию с автоматизированными системами. Сверхчистые материалы бокса с низким газовыделением и система фиксации пластин минимизируют риск загрязнения и обеспечивают их целостность на протяжении всего процесса.
В2: Каким образом бокс eFOSB предотвращает загрязнение во время транспортировки пластин?
А2:Контейнер eFOSB изготовлен из материалов, устойчивых к газовыделению, что предотвращает выделение летучих соединений, которые могут загрязнить пластины. Его конструкция также снижает образование частиц, а система фиксации пластин надежно фиксирует их, сводя к минимуму риск механических повреждений и загрязнения во время транспортировки.
В3: Можно ли использовать устройство eFOSB как с ручными, так и с автоматизированными системами?
А3:Да, устройство eFOSB универсально и может использоваться в обоих случаях.автоматизированные системыи сценарии ручной обработки. Он предназначен для автоматизированной обработки, чтобы сократить вмешательство человека, но также допускает ручной доступ при необходимости.
В4: Можно ли настроить коробку eFOSB для разных размеров пластин?
А4:Да, устройство eFOSB предлагаетварианты настройкидля адаптации к различным размерам пластин, конфигурациям слотов или особым требованиям по обработке, гарантируя соответствие уникальным потребностям различных линий по производству полупроводников.
В5: Каким образом блок eFOSB повышает эффективность обработки пластин?
А5:Блок eFOSB повышает эффективность, позволяяавтоматизированные операции, что снижает необходимость ручного вмешательства и оптимизирует транспортировку пластин внутри полупроводниковой фабрики. Конструкция также обеспечивает сохранность пластин, сводя к минимуму ошибки при обращении с ними и повышая общую производительность.
Заключение
12-дюймовый (300 мм) транспортировочный контейнер с фронтальным открыванием (eFOSB) — это высоконадежное и эффективное решение для обработки, хранения и транспортировки пластин в производстве полупроводников. Благодаря передовым функциям, соответствию отраслевым стандартам и универсальности, он предоставляет производителям полупроводников эффективный способ защиты целостности пластин и оптимизации эффективности производства. Как при автоматизированной, так и при ручной обработке, контейнер eFOSB отвечает строгим требованиям полупроводниковой промышленности, обеспечивая транспортировку пластин без загрязнений и повреждений на каждом этапе производственного процесса.
Подробная схема



