Керамический зажим из карбида кремния для пластин из SiC, сапфира и кремния GAA.

Керамический патрон из карбида кремния для пластин SiC, сапфира и кремния GAA. Изображение на обложке.

Краткое описание:

Керамический зажим из карбида кремния — это высокопроизводительная платформа, разработанная для контроля полупроводниковых изделий, изготовления пластин и склеивания. Созданный с использованием современных керамических материалов, включая спеченный карбид кремния (SSiC), карбид кремния, полученный методом реакционной связи (RSiC), нитрид кремния и нитрид алюминия, он обладает высокой жесткостью, низким коэффициентом теплового расширения, превосходной износостойкостью и длительным сроком службы.

Отправьте нам электронное письмо

Функции

Подробная схема

Обзор керамического патрона из карбида кремния (SiC).

ОнКерамический патрон из карбида кремнияЭто высокопроизводительная платформа, разработанная для контроля полупроводников, изготовления пластин и склеивания. Создана с использованием передовых керамических материалов, включаяспеченный SiC (SSiC), Реакционно-связанный SiC (RSiC), нитрид кремния, инитрид алюминия—это предлагаетвысокая жесткость, низкое термическое расширение, превосходная износостойкость и длительный срок службы..

Благодаря высокоточной конструкции и современной полировке, патрон обеспечивает...субмикронная плоскостность, зеркальная поверхность и долговременная стабильность размеров.что делает его идеальным решением для критически важных полупроводниковых процессов.

Основные преимущества

Высокая точность
Плоскостность контролируется внутри0,3–0,5 мкм, обеспечивая стабильность пластин и стабильную точность процесса.
Полировка зеркала
ДостигаетRa 0,02 мкмШероховатость поверхности, минимизирующая царапины и загрязнения пластин — идеально подходит для сверхчистых помещений.
Сверхлегкий
Более прочные и при этом более легкие, чем кварцевые или металлические подложки, что улучшает управление движением, отзывчивость и точность позиционирования.
Высокая жесткость
Исключительно высокий модуль Юнга обеспечивает стабильность размеров при больших нагрузках и высокоскоростной работе.
Низкий коэффициент теплового расширения
Коэффициент теплового расширения (КТР) точно соответствует КТР кремниевых пластин, что снижает термическое напряжение и повышает надежность процесса.
Исключительная износостойкость
Исключительная твердость обеспечивает сохранение плоскостности и точности даже при длительном использовании с высокой частотой.

Производственный процесс

Подготовка сырья
Высокочистые порошки карбида кремния с контролируемым размером частиц и сверхнизким содержанием примесей.
Формование и спекание
Такие методы, какБеспрессовое спекание (SSiC) or реакционное связывание (RSiC)производят плотные, однородные керамические подложки.
Прецизионная обработка
Шлифовка на станках с ЧПУ, лазерная обрезка и сверхточная обработка обеспечивают допуск ±0,01 мм и параллельность ≤3 мкм.
Обработка поверхности
Многоступенчатая шлифовка и полировка до Ra 0,02 мкм; по желанию могут быть нанесены покрытия для повышения коррозионной стойкости или улучшения фрикционных свойств.
Контроль качества и инспекция
Интерферометры и приборы для измерения шероховатости позволяют проверить соответствие техническим требованиям к полупроводниковым материалам.

Технические характеристики

Параметр	Ценить	Единица
Плоскость	≤0,5	мкм
Размеры пластин	6'', 8'', 12'' (возможен заказ по индивидуальному дизайну)	—
Тип поверхности	Штифтовой тип / Кольцевой тип	—
высота штифта	0,05–0,2	mm
Минимальный диаметр штифта	ϕ0.2	mm
Минимальное расстояние между штифтами	3	mm
Минимальная ширина уплотнительного кольца	0.7	mm
Шероховатость поверхности	Ra 0.02	мкм
Допуск по толщине	±0,01	mm
Допуск по диаметру	±0,01	mm
терпимость к параллелизму	≤3	мкм

Основные области применения

Оборудование для контроля качества полупроводниковых пластин
Системы изготовления и переноса кремниевых пластин
Инструменты для склеивания и упаковки кремниевых пластин
Передовые технологии производства оптоэлектронных устройств
Прецизионные инструменты, требующие идеально ровных и идеально чистых поверхностей.

Вопросы и ответы – Керамический патрон из карбида кремния

В1: Чем отличаются керамические патроны из карбида кремния от кварцевых или металлических патронов?
A1: Зажимы из карбида кремния легче, жестче и имеют коэффициент теплового расширения, близкий к кремниевым пластинам, что минимизирует термическую деформацию. Они также обладают превосходной износостойкостью и более длительным сроком службы.

В2: Какого уровня плоскостности можно достичь?
A2: Контролируется в пределах0,3–0,5 мкмотвечающие строгим требованиям производства полупроводников.

В3: Не поцарапает ли поверхность пластины?
A3: Нет — отполировано до зеркального блескаRa 0,02 мкм, что обеспечивает удобство использования без царапин и снижает образование частиц.

Вопрос 4: Какие размеры кремниевых пластин поддерживаются?
Формат А4: Стандартные размеры6'', 8'' и 12''с возможностью индивидуальной настройки.

В5: Каково тепловое сопротивление?
A5: Керамика SiC обеспечивает превосходные характеристики при высоких температурах с минимальной деформацией при термических циклах.

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, бытовой электронике и военной промышленности. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, защитные крышки для объективов мобильных телефонов, керамику, LT, карбид кремния (SIC), кварц и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря высококвалифицированным специалистам и современному оборудованию мы преуспеваем в обработке нестандартной продукции, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.