p-тип 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC подложка 4 дюйма 〈111〉± 0,5°Ноль MPD
Таблица общих параметров композитных подложек из карбида кремния типа 4H/6H-P
4 дюймовый диаметр кремнияКарбидная (SiC) подложка Спецификация
| Оценка | Производство нулевого MPD Класс (Z) Оценка) | Стандартное производство Оценка (P) Оценка) | Оценка фиктивного образца (D Оценка) | ||
| Диаметр | 99,5 мм~100,0 мм | ||||
| Толщина | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
| Ориентация пластины | Вне оси: 2,0°-4,0° в сторону [11]20] ± 0,5° для 4H/6H-P, OОсь n: 〈111〉± 0,5° для 3C-N | ||||
| Плотность микротрубок | 0 см-2 | ||||
| Сопротивление | p-тип 4H/6H-P | ≤0,1 Омꞏсм | ≤0,3 Омꞏсм | ||
| n-тип 3C-N | ≤0,8 мОмꞏсм | ≤1 м Омꞏсм | |||
| Ориентация основной квартиры | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
| 3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
| Основная плоская длина | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
| Вторичная плоская длина | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
| Вторичная ориентация квартиры | Кремниевая поверхность вверх: 90° по часовой стрелке от плоской поверхности Prime.±5,0° | ||||
| Исключение края | 3 мм | 6 мм | |||
| LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм | ≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм | |||
| Шероховатость | Польское Ra≤1 нм | ||||
| CMP Ra≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
| Трещины по краям, возникающие под воздействием света высокой интенсивности. | Никто | Суммарная длина ≤ 10 мм, длина одного образца ≤ 2 мм | |||
| Шестигранные пластины, освещенные светом высокой интенсивности. | Суммарная площадь ≤0,05% | Суммарная площадь ≤0,1% | |||
| Политипные участки при высокой интенсивности света | Никто | Суммарная площадь ≤3% | |||
| Визуальные включения углерода | Суммарная площадь ≤0,05% | Суммарная площадь ≤3% | |||
| Поверхность кремния царапается под воздействием света высокой интенсивности. | Никто | Суммарная длина ≤ 1 × диаметр пластины | |||
| Сколы на кромках, вызванные высокой интенсивностью света. | Не допускается использование материалов шириной и глубиной ≥0,2 мм. | Допускается 5, ≤1 мм каждый | |||
| Загрязнение поверхности кремния высокоинтенсивным излучением | Никто | ||||
| Упаковка | Многопластинчатая кассета или контейнер для одной пластины | ||||
Примечания:
※Предельные значения дефектов распространяются на всю поверхность пластины, за исключением зоны исключения по краям. # Царапины следует проверять только на кремниевой поверхности.
Подложка из карбида кремния (SiC) P-типа 4H/6H-P 3C-N размером 4 дюйма с ориентацией 〈111〉± 0,5° и классом Zero MPD широко используется в высокопроизводительных электронных устройствах. Ее превосходная теплопроводность и высокое напряжение пробоя делают ее идеальной для силовой электроники, такой как высоковольтные переключатели, инверторы и преобразователи мощности, работающие в экстремальных условиях. Кроме того, устойчивость подложки к высоким температурам и коррозии обеспечивает стабильную работу в суровых условиях. Точная ориентация 〈111〉± 0,5° повышает точность изготовления, что делает ее подходящей для радиочастотных устройств и высокочастотных приложений, таких как радиолокационные системы и оборудование беспроводной связи.
К преимуществам композитных подложек из карбида кремния N-типа относятся:
1. Высокая теплопроводность: эффективное рассеивание тепла, что делает его пригодным для использования в условиях высоких температур и в мощных устройствах.
2. Высокое напряжение пробоя: Обеспечивает надежную работу в высоковольтных приложениях, таких как преобразователи мощности и инверторы.
3. Нулевой уровень дефектов микротрубок (MPD): гарантирует минимальное количество дефектов, обеспечивая стабильность и высокую надежность в критически важных электронных устройствах.
4. Коррозионная стойкость: Долговечность в суровых условиях, обеспечивающая длительную функциональность в сложных условиях эксплуатации.
5. Точная ориентация 〈111〉± 0,5°: обеспечивает точное выравнивание во время производства, улучшая характеристики устройства в высокочастотных и радиочастотных приложениях.
В целом, 4-дюймовая подложка из карбида кремния P-типа 4H/6H-P 3C-N с ориентацией 〈111〉± 0,5° и классом Zero MPD представляет собой высокоэффективный материал, идеально подходящий для передовых электронных приложений. Его превосходная теплопроводность и высокое напряжение пробоя делают его идеальным для силовой электроники, такой как высоковольтные переключатели, инверторы и преобразователи. Класс Zero MPD обеспечивает минимальное количество дефектов, гарантируя надежность и стабильность в критически важных устройствах. Кроме того, устойчивость подложки к коррозии и высоким температурам обеспечивает долговечность в суровых условиях. Точная ориентация 〈111〉± 0,5° обеспечивает точное выравнивание во время производства, что делает его очень подходящим для радиочастотных устройств и высокочастотных приложений.
Подробная схема
