Высокопроизводительный концевой захват (вилочный манипулятор) из оксида алюминия для автоматизации полупроводниковых предприятий и чистых помещений.

Краткое описание:

Алюмокерамический концевой захват, также называемый керамическим манипулятором или роботизированной керамической рукой, представляет собой высокоточный компонент для автоматизированных систем, предназначенный для использования в полупроводниковой, фотоэлектрической, панельной и лабораторной отраслях, работающих с высокочистыми материалами. Он разработан для обеспечения исключительной термической стабильности, механической жесткости и химической стойкости, обеспечивая чистую, надежную и безопасную транспортировку чувствительных материалов, таких как кремниевые пластины, стеклянные подложки и электронные микрокомпоненты.

Отправьте нам электронное письмо

Функции

Подробная схема

Введение в продукт

Этот керамический компонент, являющийся разновидностью роботизированного концевого захвата, служит конечным интерфейсом между автоматизированной системой и обрабатываемой деталью. Он играет решающую роль в задачах точной передачи, выравнивания, загрузки/выгрузки и позиционирования в чистых помещениях и вакуумных средах.

керамический рычаг для управления полупроводниками на пластине G13

керамический рычаг для привода полупроводниковых пластин G10

керамический рычаг для привода полупроводниковых пластин G07

Обзор материала – керамика на основе оксида алюминия (Al₂O₃)

Алюмокерамика — это высокостабильный и химически инертный технический керамический материал, известный своими превосходными механическими и электрическими свойствами. Использование высокочистой (≥ 99,5%) глинозема в этих концевых захватах обеспечивает:

Высокая твердость (по шкале Мооса 9)Уступая по износостойкости только алмазу, оксид алюминия обладает исключительной износостойкостью.
Возможность работы при высоких температурахСохраняет структурную целостность при температуре выше 1600 °C.
Химическая инертностьУстойчив к кислотам, щелочам, растворителям и средам плазменного травления.
ЭлектроизоляцияОбладает высокой диэлектрической прочностью и низкими диэлектрическими потерями.
Низкий коэффициент теплового расширения: Обеспечивает стабильность размеров в условиях термических циклов.
Низкий уровень генерации частиц: Необходим для обеспечения совместимости с чистыми помещениями (классы от 10 до 1000).

Эти характеристики делают керамику из оксида алюминия идеальной для критически важных операций в отраслях промышленности, чувствительных к загрязнениям.

Функциональные приложения

Алюмокерамический концевой захват широко используется в высокотехнологичных промышленных процессах, особенно там, где традиционные металлические или пластиковые материалы оказываются неэффективными из-за термического расширения, загрязнения или коррозии. Ключевые области применения включают:

Перенос полупроводниковых пластин
Системы загрузки и выгрузки фотолитографических материалов
Обработка стеклянных подложек на линиях производства OLED и LCD дисплеев.
Перенос кристаллической кремниевой пластины в производстве солнечных элементов
Автоматизированная оптическая или микроэлектронная инспекция
Транспортировка образцов в аналитических или биомедицинских лабораториях
Системы автоматизации вакуумной среды

Благодаря своей способности работать без внесения частиц или статического заряда, он незаменим для точных роботизированных операций в системах автоматизации чистых помещений.

Особенности дизайна и персонализация

Каждый керамический концевой захват разработан для установки на конкретную роботизированную руку или систему обработки пластин. Мы поддерживаем полную индивидуальную настройку в зависимости от:

совместимость размеров пластин: 2", 4", 6", 8", 12" и более
Геометрия и расстояние между пазамиПодходит для фиксации по краю, поддержки с обратной стороны или для изготовления пластин с выемками.
Всасывающие патрубкиВстроенные вакуумные отверстия или каналы для бесконтактного обращения.
Конфигурация крепленияОтверстия, резьба, пазы, изготовленные по индивидуальному заказу в соответствии с фланцем концевого инструмента вашего робота.
Обработка поверхности: Полированная, притертая или мелкошлифованная поверхность (доступна шероховатость Ra < 0,2 мкм)
Защита кромкиЗакругленные углы или фаски во избежание повреждения пластины.

Используя чертежи САПР или 3D-модели, предоставленные заказчиками, наши инженеры могут оптимизировать каждый рычаг вилки с точки зрения веса, прочности и чистоты.

ru_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Преимущества керамических концевых захватов

Особенность	Выгода
Высокая механическая жесткость	Сохраняет точность размеров при нагрузке, создаваемой роботами.
Превосходные тепловые характеристики	Надежно работает в условиях высоких температур или плазмы.
Отсутствие загрязнения металлами	Отсутствие риска ионного загрязнения в критически важных процессах обработки полупроводников.
Поверхность с низким коэффициентом трения	Снижает риск появления царапин на кремниевых пластинах или стеклянных подложках.
Антистатический и немагнитный	Не притягивает пыль и не влияет на магниточувствительные компоненты.
Длительный срок службы	Превосходная износостойкость в повторяющихся высокоскоростных циклах автоматизации.
Совместимость с ультрачистыми материалами	Подходит для чистых помещений по стандарту ISO 14644 (класс 100 и ниже).

По сравнению с пластиковыми или алюминиевыми рычагами, керамический материал на основе оксида алюминия обеспечивает значительно улучшенную химическую и физическую стабильность при минимальных требованиях к техническому обслуживанию.

Свойство	Металлическая рука	Пластиковый рукав	Алюмокерамический рычаг
Твердость	Умеренный	Низкий	Очень высокий (9 по шкале Мооса)
Термостойкость	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Химическая стойкость	Умеренный	Бедный	Отличный
Пригодность для использования в чистых помещениях	Середина	Низкий	Очень высокий
Износостойкость	Середина	Низкий	Выдающийся
Диэлектрическая прочность	Низкий	Середина	Высокий
Точность обработки на заказ	Ограниченный	Умеренный	Высокое качество (возможно ±0,01 мм)

Технические характеристики

Параметр	Ценить
Материал	Высокочистый оксид алюминия (≥ 99,5%)
Рабочая температура	До 1600 °C
Шероховатость поверхности	Ra ≤ 0,2 мкм (опционально)
Совместимые размеры пластин	от 2 до 12 дюймов или на заказ
Допуск на плоскостность	±0,01 мм (зависит от области применения)
Вакуумная поддержка отсоса	Дополнительные, настраиваемые каналы
Варианты крепления	Болтовое соединение, фланец, прорезные отверстия

Часто задаваемые вопросы (FAQ)

В1: Можно ли интегрировать концевой эффектор в существующие роботизированные системы?
А1:Да. Мы поддерживаем индивидуальную настройку в соответствии с вашим роботизированным интерфейсом. Вы можете отправить нам чертеж САПР или размеры фланца для точной адаптации.

Вопрос 2: Легко ли сломаются керамические рычаги во время использования?
А2:Хотя керамика по своей природе хрупкая, в наших конструкциях используется оптимизированная геометрия для минимизации концентрации напряжений. При надлежащих условиях эксплуатации они обеспечивают значительно более длительный срок службы, чем металл или пластик.

В3: Возможно ли использовать это в камерах сверхвысокого вакуума или плазменного травления?
А3:Да. Алюмооксидная керамика не выделяет газов, термостабильна и коррозионностойка — идеально подходит для работы в условиях высокого вакуума, реактивных газов или плазмы.

Вопрос 4: Как осуществляется очистка или техническое обслуживание этих компонентов?
A4:Их можно чистить дистиллированной водой, спиртом или моющими средствами, совместимыми с чистыми помещениями. Благодаря химической стабильности и инертной поверхности, специальный уход не требуется.

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, бытовой электронике и военной промышленности. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, защитные крышки для объективов мобильных телефонов, керамику, LT, карбид кремния (SIC), кварц и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря высококвалифицированным специалистам и современному оборудованию мы преуспеваем в обработке нестандартной продукции, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.