12-дюймовая сапфировая пластина для крупномасштабного производства полупроводников.

Изображение 12-дюймовой сапфировой пластины для крупномасштабного производства полупроводников.

Краткое описание:

12-дюймовая сапфировая пластина разработана для удовлетворения растущего спроса на крупномасштабное высокопроизводительное производство полупроводниковых и оптоэлектронных устройств. По мере масштабирования архитектуры устройств и перехода производственных линий к более крупным форматам пластин, сапфировые подложки сверхбольшого диаметра предлагают явные преимущества в производительности, оптимизации выхода годной продукции и контроле затрат.

Отправьте нам электронное письмо

Функции

Подробная схема

Представлена 12-дюймовая сапфировая пластина.

Изготовленные из высокочистого монокристаллического Al₂O₃, наши 12-дюймовые сапфировые пластины сочетают в себе превосходную механическую прочность, термическую стабильность и качество поверхности. Благодаря оптимизированному выращиванию кристаллов и прецизионной обработке пластин, эти подложки обеспечивают надежную работу в передовых светодиодных, GaN и специальных полупроводниковых приложениях.

Характеристики материала

Сапфир (монокристаллический оксид алюминия, Al₂O₃) хорошо известен своими выдающимися физическими и химическими свойствами. 12-дюймовые сапфировые пластины обладают всеми преимуществами сапфирового материала, обеспечивая при этом гораздо большую полезную площадь поверхности.

К основным характеристикам материала относятся:

Чрезвычайно высокая твердость и износостойкость.
Отличная термическая стабильность и высокая температура плавления.
Превосходная химическая стойкость к кислотам и щелочам.
Высокая оптическая прозрачность в диапазоне длин волн от УФ до ИК
Превосходные электроизоляционные свойства

Эти характеристики делают 12-дюймовые сапфировые пластины подходящими для работы в жестких технологических условиях и высокотемпературных процессах производства полупроводников.

Производственный процесс

Для производства 12-дюймовых сапфировых пластин требуются передовые технологии выращивания кристаллов и сверхточной обработки. Типичный производственный процесс включает в себя:

Выращивание монокристаллов
Кристаллы сапфира высокой чистоты выращиваются с использованием передовых методов, таких как KY или других технологий выращивания кристаллов большого диаметра, что обеспечивает равномерную ориентацию кристаллов и низкое внутреннее напряжение.
Формирование и огранка кристаллов
Сапфировый слиток точно формируется и разрезается на пластины диаметром 12 дюймов с использованием высокоточного режущего оборудования, чтобы минимизировать повреждения под поверхностью.
Притирка и полировка
Для достижения превосходной шероховатости поверхности, плоскостности и равномерности толщины применяются многоступенчатые процессы притирки и химико-механической полировки (ХМП).
Очистка и осмотр
Каждая 12-дюймовая сапфировая пластина проходит тщательную очистку и строгий контроль, включая анализ качества поверхности, TTV, изгиба, деформации и дефектов.

Приложения

12-дюймовые сапфировые пластины широко используются в передовых и перспективных технологиях, в том числе:

Мощные и высокояркие светодиодные подложки
Силовые и радиочастотные приборы на основе GaN
Носители полупроводникового оборудования и изоляционные подложки
Оптические окна и оптические компоненты большой площади
Передовые технологии упаковки полупроводников и специальные технологические носители.

Большой диаметр обеспечивает более высокую производительность и улучшенную экономическую эффективность при массовом производстве.

Преимущества 12-дюймовых сапфировых пластин

Увеличенная полезная площадь для повышения производительности устройств на одной пластине.
Улучшение стабильности и однородности процесса.
Снижение себестоимости одного устройства при крупномасштабном производстве.
Превосходная механическая прочность для работы с крупногабаритными грузами.
Настраиваемые характеристики для различных областей применения

Параметры настройки

Мы предлагаем гибкие возможности индивидуальной настройки 12-дюймовых сапфировых пластин, включая:

Ориентация кристалла (плоскость C, плоскость A, плоскость R и т. д.)
Допуск по толщине и диаметру
Односторонняя или двусторонняя полировка
Профиль кромки и конструкция фаски
Требования к шероховатости и плоскостности поверхности

Параметр	Спецификация	Примечания
Диаметр пластины	12 дюймов (300 мм)	Стандартная пластина большого диаметра
Материал	Монокристаллический сапфир (Al₂O₃)	Высокочистый, электронного/оптического качества
Ориентация кристалла	Плоскость C (0001), плоскость A (11-20), плоскость R (1-102)	Доступны дополнительные варианты ознакомления.
Толщина	430–500 мкм	Толщина может быть изменена по запросу.
Допуск по толщине	±10 мкм	Жесткие допуски для современных устройств
Общее изменение толщины (TTV)	≤10 мкм	Обеспечивает равномерную обработку по всей пластине.
Поклон	≤50 мкм	Измерения проводились по всей поверхности пластины.
Искажение	≤50 мкм	Измерения проводились по всей поверхности пластины.
Отделка поверхности	Односторонняя полировка (SSP) / Двусторонняя полировка (DSP)	Поверхность высокого оптического качества
Шероховатость поверхности (Ra)	≤0,5 нм (полированная поверхность)	Гладкость на атомном уровне для эпитаксиального роста
Профиль кромки	Фаска / Закругленный край	Для предотвращения сколов во время транспортировки.
Точность ориентации	±0,5°	Обеспечивает правильный рост эпитаксиального слоя.
Плотность дефектов	<10 см⁻²	Измерено методом оптического контроля.
Плоскость	≤2 мкм / 100 мм	Обеспечивает равномерную литографию и эпитаксиальный рост.
Чистота	Класс 100 – Класс 1000	Совместимость с чистыми помещениями
Оптическая передача	>85% (УФ–ИК)	Зависит от длины волны и толщины.

Часто задаваемые вопросы о 12-дюймовых сапфировых пластинах

В1: Какова стандартная толщина сапфировой пластины диаметром 12 дюймов?
A: Стандартная толщина составляет от 430 мкм до 500 мкм. Возможна также изготовление изделий нестандартной толщины по требованию заказчика.

В2: Какие варианты ориентации кристалла доступны для сапфировых пластин диаметром 12 дюймов?
A: Мы предлагаем ориентации в плоскости C (0001), плоскости A (11-20) и плоскости R (1-102). Другие ориентации могут быть настроены в соответствии с конкретными требованиями устройства.

В3: Что такое общее изменение толщины (TTV) пластины?
A: Наши 12-дюймовые сапфировые пластины обычно имеют TTV ≤10 мкм, что обеспечивает однородность по всей поверхности пластины для изготовления высококачественных устройств.

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, бытовой электронике и военной промышленности. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, защитные крышки для объективов мобильных телефонов, керамику, LT, карбид кремния (SIC), кварц и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря высококвалифицированным специалистам и современному оборудованию мы преуспеваем в обработке нестандартной продукции, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.